芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破！離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化
芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破！離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化
文章來源：中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司 發(fā)布時(shí)間：2021-03-22
3月17日，從中國(guó)電科獲悉，中國(guó)電科旗下裝備子集團(tuán)日前已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。
據(jù)悉，裝備子集團(tuán)連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印奔夹g(shù)，自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28nm，累計(jì)形成核心發(fā)明專利413項(xiàng)，為我國(guó)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補(bǔ)上重要一環(huán)，實(shí)現(xiàn)我國(guó)芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展，有效緩解我國(guó)芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。
【責(zé)任編輯：趙藝涵】